Topographiemessungen technischer Oberflächen mit einer Streulichtanordnung = Topography measurements of engineering surfaces with optical scatterometry

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Veröffentlicht in:Technisches Messen
1. Verfasser: Hehl, Karl (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Hertzsch, Albrecht (VerfasserIn), Kröger, Knut (VerfasserIn), Truckenbrodt, Horst (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: 2003
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Titel Jahr Verfasser
Uncertainty consideration of the coordinate system in nanopositioning- and nanomeasuring machines : = Unsicherheitsüberlegungen zum Koordinatensystem in Nano-Positionier- und Messmaschinen 2009
Navigation in a large measurement volume by using AFM technology as a sensor system in the NPMM : = Navigation in einem großen Messvolumen in der Nanopositionier- und Mess-Maschine (NPMM) mittels AFM-Technologie 2009
Mass dissemination using a robot system : = Massevergleiche mittels eines Robotersystems 2009 Fröhlich, Thomas
The metrological basis and operation of nanopositioning and nanomeasuring machine NMM-1 : = Metrologische Grundlagen und Wirkungsweise der Nanopositionier- und Messmaschine NMM-1 2009
The application of the dual-beam laser interferometer for calibration precision machine tools : = Anwendung eines Zweistrahl-Laserinterferometers zur Kalibrierung von Präzisionswerkzeugen 2009
Freiheitsgradregularisierte Entfaltung von Messdaten aus AFM-Sondermodi : = DoF-restricted deconvolution of measured data from AFM special modes 2008
Einige Besonderheiten bei der Messung der komplexen DK an verlustbehafteten dielektrischen Werkstoffen : = Some topics of measurement of complex permittivity for lossy dielectric materials 2007 Kummer, Manfred
Messunsicherheitsanalyse von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen mit Hilfe eines neuen vektoriellen Modellansatzes : = Analysis of the measurement uncertainties of nanopositioning and nanomeasuring machines (NPM-machines) by means of a new vectorial model approach 2006 Füßl, Roland
Nanometrologie in zweieinhalb Dimensionen : Entwicklung einer Nanometer-Koordinaten-Messmaschine mit rasterkraftmikroskopischer Antastung = Nanometrology in two and a half dimensions: development of a nanometer coordinate measuring machine with atomic force scanning 2006 Rothe, Hendrik
Materials, bearings, and lubricants for nanopositioning : = Materialien, Lager und Schmiermittel für Nanopositionierung 2006 Liu, Yonghe
Messanordnung zur kapazitiven Luft- und Gasfeuchtemessung 2006 Mikuta, Reinhard
Raster-Sonden-Mikroskopie mit Cantilever-Arrays : = Scanning probe microscopy with cantilever arrays 2006
Neue Anwendungen der Nanomessmaschine (NPM-Maschine) durch die Entwicklung nanoskaliger optischer und taktiler Tastsensoren : = New applications of the nanomeasuring machine (NPM-machine) by novel optical and tactile probes with subnanometer repeatability 2006 Jäger, Gerd
Interferometrischer Sensor und interferometrisches Kalibriersystem für Ultrapräzisions-Anwendungen : = Interferometric Sensor and Calibration System for High-Precision Applications 2005 Welter, Matthias
Entwicklung eines Fokussensors und Integration in die Nanopositionier- und Nanomessmaschine : = Development of a focus sensor and its integration into the nanopositioning and nanomeasuring machine 2004 Mastylo, Rostyslav
Topographiemessungen technischer Oberflächen mit einer Streulichtanordnung : = Topography measurements of engineering surfaces with optical scatterometry 2003 Hehl, Karl
Integrierte Ultra-Breitband-Elektronik für Feuchte- und Flüssigkeitssensoren : = Integrated ultra wideband electronics for moisture and liquid sensing 2002 Sachs, Jürgen
Development of a traceable atomic force microscope : = Entwicklung eines metrologischen Rasterkraftmikroskops 2002 Chen, Chao-Jung
Untersuchungen zur gleichzeitigen Längen- und Winkelmessung mit einem Planspiegelinterferometer : = Simultaneous length and angle measurement with a plane mirror interferometer 2001 Wang, Yung-Cheng
Professor Gerd Jäger, Mitglied des Herausgeberbeirats, wird 60 2001 Grünwald, Rainer
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