Sputtering processes: collision cascades and spikes

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Sigmund, P. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Copenhagen Physical Laboratory II, H. C. Ørsted Inst., Københavns Univ. 1977
Schriftenreihe:	Monograph / Fysisk Laboratorium II, H. C. Ørsted Institutet, Københavns Universitet 77,7
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