Sputtering processes: collision cascades and spikes

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Sigmund, P. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Copenhagen Physical Laboratory II, H. C. Ørsted Inst., Københavns Univ. 1977
Schriftenreihe:Monograph / Fysisk Laboratorium II, H. C. Ørsted Institutet, Københavns Universitet 77,7
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Beschreibung
Beschreibung:Auch als: Tolk, N. H. ...: Inelastic ion-surface collisions
Beschreibung:32 Bl.
graph. Darst.