Evolution of thin film morphology : modeling and simulations

Evolution of thin film morphology modeling and simulations

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Pelliccione, Matthew (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Lu, Toh-Ming (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Berlin, Heidelberg Springer 2008
Schriftenreihe:Springer series in materials science 108
Schlagworte:
Thin film devices > Thin films > Microstructure > Mathematical models > Chemical vapor deposition > Morphologie > Dünnschichttechnik
Online Zugang:Cover
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Beschreibung
Beschreibung:XI, 204 S.
ill., graph. Darst.
235 mm x 155 mm
ISBN:9780387751085
978-0-387-75108-5
0387751084
0-387-75108-4