DFG-Vorhaben EN 183/14-1: Monomer Rückströmung in schichtbildenden Hohlkathoden-Plasma-Jet-Quellen (Abschlussbericht)
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Wuppertal
Univ., Forschungszentrum für Mikrostrukturtechnik - fmt
ca. 2006
|
| Schlagworte: | |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Tag hinzufügen | Beschreibung: | Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden Auch als elektronische Ressource vorh |
|---|---|
| Beschreibung: | 12 Bl. Ill., graph. Darst. |