Silicon nitride, silicon dioxide, and emerging dielectrics 9 [proceedings of the Symposium on Silicon Nitride, Silicon Dioxide Thin Insulating Films, and Emerging Dielectrics ... held May 6 - 11, 2007 in Chicago as a part of the 211th meeting of the Electrochemical Society (ECS)]
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Pennington, NJ
Electrochemical Society
2007
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Schriftenreihe: | ECS transactions
6,3 |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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