Silicon nitride, silicon dioxide, and emerging dielectrics 9 : [proceedings of the Symposium on Silicon Nitride, Silicon Dioxide Thin Insulating Films, and Emerging Dielectrics ... held May 6 - 11, 2007 in Chicago as a part of the 211th meeting of the Electrochemical Society (ECS)]

Silicon nitride, silicon dioxide, and emerging dielectrics 9 [proceedings of the Symposium on Silicon Nitride, Silicon Dioxide Thin Insulating Films, and Emerging Dielectrics ... held May 6 - 11, 2007 in Chicago as a part of the 211th meeting of the Electrochemical Society (ECS)]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Sah, Ram Ekwal (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pennington, NJ Electrochemical Society 2007
Schriftenreihe:ECS transactions 6,3
Schlagworte:
Thin film devices > Silicon nitride > Silicon dioxide > Silica > Dielectric films > Electric insulators and insulation > Thin films > Konferenzschrift
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:XII, 847 S.
ISBN:9781566775526
978-1-56677-552-6