EMLC 2007 : 23rd European Mask and Lithography Conference ; 22 - 25 January 2007, Grenoble, France

EMLC 2007 23rd European Mask and Lithography Conference ; 22 - 25 January 2007, Grenoble, France

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Behringer, Uwe F. W. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2007
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE 6533
Schlagworte:
Integrated circuits > Masks > Microlithography > Konferenzschrift > Maske > Lithografie
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Beschreibung
Beschreibung:Getr. Zählung [ca. 540 S.]
ISBN:9780819466556
978-0-8194-6655-6