Untersuchung der frühen Wachstumsphase reaktiv gesputterter Titannitridschichten auf amorphem Kohlenstoff
Hamburg, Univ., FB Physik, Dipl.arb., 1994
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| 1. Verfasser: | |
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
1994
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Tag hinzufügen | Zusammenfassung: | Hamburg, Univ., FB Physik, Dipl.arb., 1994 |
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| Beschreibung: | 81 S graph. Darst |