Focused ion beam systems : basics and applications

Focused ion beam systems basics and applications

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Yao, Nan (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Cambridge u.a. Cambridge University Press 2007
Schlagworte:
Focused ion beams > Industrial applications > Ion bombardment > Aufsatzsammlung > Ionenstrahl > Oberflächenanalyse
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Beschreibung
Beschreibung:Includes bibliographical references and index
Beschreibung:XI, 395 S.
zahlr. Ill., graph. Darst.
26 cm
ISBN:0521831997
0-521-83199-7
9780521831994
978-0-521-83199-4