Special section of the Micromechanics Section of Sensors and Actuators based on contributions revised from the technical digest of the 2006 Solid-State Sensor, Actuator and Microsystems Workshop Hilton Head Island, SC, USA, 4 - 8 June 2006

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Transducers Research Foundation (BerichterstatterIn), Solid State Sensor, Actuator, and Microsystems Workshop (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam u.a. Elsevier 2007
Schriftenreihe:	Sensors and actuators <Lausanne> / A 136.2007,2
Schlagworte:	Konferenzschrift
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