Entwicklung und Charakterisierung eines CMOS-Prozesses mit minimierter Anzahl an Lithographieebenen

Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2006

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Jank, Michael (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 2007
Schriftenreihe:	Erlanger Berichte Mikroelektronik 2007,1
Schlagworte:	Hochschulschrift > MOS-FET > CMOS > Maskentechnik > Halbleitersubstrat > Ionenimplantation > Prozessoptimierung
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2006
Beschreibung:	VI, 164 S. Ill., graph. Darst. 21 cm
ISBN:	3832261591 3-8322-6159-1 9783832261597 978-3-8322-6159-7