Electrical and electromechanical properties of ferroelectric thin films

Electrical and electromechanical properties of ferroelectric thin films

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Gerber, Peter (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Aachen Shaker 2007
Schriftenreihe:Berichte aus der Halbleitertechnik
Schlagworte:
Hochschulschrift > Ferroelektrikum > PZT > Dünne Schicht > Stoffeigenschaft > Ätzen > System-in-Package
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Zusammenfassung:Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007
Beschreibung:X, 114 S.
Ill., graph. Darst.
21 cm
ISBN:3832256261
3-8322-5626-1
9783832256265
978-3-8322-5626-5