Abschlussbericht für das Teilvorhaben "Entwicklung von neuen Verarbeitungstechnologien zur stabilen Prozessierung ultradicker Schichten von Polymeren für die Anwendung in der Mikrosystemtechnik" im Projektverbund "Neue hochpräzise Mikrokomponenten hergestellt mit umsetzungsorientierten und kosteneffizienten Fertigungsverfahren - MICROCOMP" : Berichtszeitraum: 1. November 2002 - 30. Juni 2006

Abschlussbericht für das Teilvorhaben "Entwicklung von neuen Verarbeitungstechnologien zur stabilen Prozessierung ultradicker Schichten von Polymeren für die Anwendung in der Mikrosystemtechnik" im Projektverbund "Neue hochpräzise Mikrokomponenten hergestellt mit umsetzungsorientierten und kosteneffizienten Fertigungsverfahren - MICROCOMP" Berichtszeitraum: 1. November 2002 - 30. Juni 2006

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: micro resist technology GmbH (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Engelke, Rainer (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Berlin 2006
Schlagworte:
Forschungsbericht > Mikrosystemtechnik > LIGA-Verfahren > Lithografie > Kunststoffbeschichtung
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