Multi-Imprint Nano-Lithographie MINALI ; Teilvorhaben: hochpräzise in-situ Overlayjustage für Multilayer UV-Nanoimprint ; Abschlussbericht ; Förderzeitraum vom 01.11.2002 bis 30.04.2006

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Fuchs, Andreas (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen ca. 2006
Schlagworte:	Forschungsbericht
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