Multi-Imprint Nano-Lithographie : MINALI ; Teilvorhaben: hochpräzise in-situ Overlayjustage für Multilayer UV-Nanoimprint ; Abschlussbericht ; Förderzeitraum vom 01.11.2002 bis 30.04.2006

Multi-Imprint Nano-Lithographie MINALI ; Teilvorhaben: hochpräzise in-situ Overlayjustage für Multilayer UV-Nanoimprint ; Abschlussbericht ; Förderzeitraum vom 01.11.2002 bis 30.04.2006

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Fuchs, Andreas (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Aachen ca. 2006
Schlagworte:
Forschungsbericht
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 13N8399. - Verbund-Nr. 01022991. - Literaturverz
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:21 Bl.
Ill., graph. Darst.