Materials for advanced metallization MAM 2006 ; 6 - 8 March, Grenoble, France ; [The 2006 International Workshop on "Materials for Advanced Metallization"]
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | |
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Amsterdam u.a.
Elsevier
2006
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| Schriftenreihe: | Microelectronic engineering
83.2006. 11/12 |
| Schlagworte: | |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | S. 2033 - 2570 Ill., graph. Darst. |
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