Bestimmung der Unsicherheit bei der Lokalisierung von Mikrostrukturen unter Verwendung eines kombinierten optischen Sensorsystems

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Messunsicherheit praxisgerecht bestimmen
1. Verfasser:	Kühn, Olav (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Töpfer, Susanne (VerfasserIn), Weißensee, Karina (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2006
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