Plasmagestützte Verfahren zur Vorbehandlung metallischer Platten und Bänder

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Händel, Frank (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Dresden ca. 2006
Schlagworte:
Forschungsbericht > Vakuumbeschichten > Metallband > PVD-Verfahren > Plasmaätzen > Magnetronsputtern > Hohlkathode
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Beschreibung
Beschreibung:11 Bl.
Ill., graph. Darst.