Abbildungsmethodiken für nanoelektronische Bauelemente (ABBILD), Teilvorhaben: Entwurf und Realisierung eines programmierbaren Aperturplatten-Systems für die maskenlose Elektronenstrahlprojektionslithographie (ML2) : Abschlussbericht der Fraunhoferinstitute zum Projekt ML2 ; Verbundprojekt ; Laufzeit des Vorhabens: 01.10.03 - 31.03.2006

Abbildungsmethodiken für nanoelektronische Bauelemente (ABBILD), Teilvorhaben: Entwurf und Realisierung eines programmierbaren Aperturplatten-Systems für die maskenlose Elektronenstrahlprojektionslithographie (ML2) Abschlussbericht der Fraunhoferinstitute zum Projekt ML2 ; Verbundprojekt ; Laufzeit des Vorhabens: 01.10.03 - 31.03.2006

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Itzehoe FHG-ISIT ca. 2006
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 01M3154T
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:[ca. 60] Bl.
Ill., graph. Darst.