MEMS materials and processes handbook

The MEMS design process -- Additive processes for semiconductors and dielectric materials -- Additive processes for metals -- Additive processes for polymeric materials -- Additive processes for piezoelectric materials : piezoelectric MEMS -- Materials and processes in shape memory alloy -- Dry etch...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Weitere Verfasser:	Ghodssi, Reza (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York, NY, Heidelberg Springer 2011
Schriftenreihe:	MEMS reference shelf
Schlagworte:	Microelectromechanical systems > Materials > Mikrosystemtechnik > MEMS
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis Einführung/Vorwort
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