Microlithography science and technology
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Weitere Verfasser: | , |
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Boca Raton, Fla. u.a.
CRC Press
c 2007
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Ausgabe: | 2. ed. |
Schriftenreihe: | Optical science and engineering
126 |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis Publisher description |
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Beschreibung: | Literaturangaben |
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Beschreibung: | 848 S. Ill., graph. Darst. |
ISBN: | 0824790243 0-8247-9024-3 9780824790240 978-0-8247-9024-0 |