Verbundvorhaben MATCH-DRUCK - Mikrogehäuste mediengetrennte Silizium-Druck- und Differenzdrucksensoren für industrielle Anwendungen, [Teilprojekt]: Entwicklung und Fertigung von LTCC-basierten Multilayer-Gehäusen zum Packaging der Sensoren : Abschlussbericht MATCH-Druck ; Laufzeit des Vorhabens: 01.06.2002 - 31.12.2005

Verbundvorhaben MATCH-DRUCK - Mikrogehäuste mediengetrennte Silizium-Druck- und Differenzdrucksensoren für industrielle Anwendungen, [Teilprojekt]: Entwicklung und Fertigung von LTCC-basierten Multilayer-Gehäusen zum Packaging der Sensoren Abschlussbericht MATCH-Druck ; Laufzeit des Vorhabens: 01.06.2002 - 31.12.2005

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Bartnitzek, Thomas (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Hermsdorf VIA electronics GmbH 2006
Schlagworte:
Forschungsbericht > Mikrosystemtechnik > Drucksensor > Differenzdruckmessung > Halbleitergehäuse > Mehrschichtsystem > LTCC
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