Verbundvorhaben MATCH-DRUCK - Mikrogehäuste mediengetrennte Silizium-Druck- und Differenzdrucksensoren für industrielle Anwendungen, [Teilprojekt]: Entwicklung und Fertigung von LTCC-basierten Multilayer-Gehäusen zum Packaging der Sensoren : Abschlussbericht MATCH-Druck ; Laufzeit des Vorhabens: 01.06.2002 - 31.12.2005

Verbundvorhaben MATCH-DRUCK - Mikrogehäuste mediengetrennte Silizium-Druck- und Differenzdrucksensoren für industrielle Anwendungen, [Teilprojekt]: Entwicklung und Fertigung von LTCC-basierten Multilayer-Gehäusen zum Packaging der Sensoren Abschlussbericht MATCH-Druck ; Laufzeit des Vorhabens: 01.06.2002 - 31.12.2005

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Bartnitzek, Thomas (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Hermsdorf VIA electronics GmbH 2006
Schlagworte:
Forschungsbericht > Mikrosystemtechnik > Drucksensor > Differenzdruckmessung > Halbleitergehäuse > Mehrschichtsystem > LTCC
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 16 SV 1572. - Verbund-Nr. 01022485. - Engl. Berichtsbl. u.d.T.: Funded R & D project "MATCH-Druck - miniaturized media separated silicon pressure sensor elements for industrial applications" - final report "Development and manufacturing of LTCC based multilayer packages for Si-pressure sensors". - Literaturangaben
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:30 Bl.
Ill., graph. Darst.