Plasma sputter negative ion source with ECR discharge

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Takagi, A. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Ikegami, K. (VerfasserIn), Mori, Y. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Tsukuba KEK, National Laboratory for High Energy Physics 1991
Schriftenreihe:	KEK preprint 91-107
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