Spectroscopic ellipsometry principles and applications
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Chichester u.a.
Wiley
2007
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Beschreibung: | Includes bibliographical references and index. - Japan. Ed. (ISBN 4-621-07253-6 ; 978-4-621-07253-0) |
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Beschreibung: | XVIII, 369 S. Ill., graph. Darst. |
ISBN: | 0470016086 0-470-01608-6 9780470016084 978-0-470-01608-4 |