Wet chemical etching of AlN in KOH solution

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Physica status solidi / C
Weitere Verfasser:	Cimalla, Irina Nicoleta (BerichterstatterIn), Förster, Christian (BerichterstatterIn), Cimalla, Volker (BerichterstatterIn), Lebedev, Vadim (BerichterstatterIn), Cengher, Dorin (BerichterstatterIn), Ambacher, Oliver (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2006
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