Fast simulation of electro-thermal MEMS efficient dynamic compact models ; with 9 tables

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Bechtold, Tamara (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Rudnyi, Evgenii B. (VerfasserIn), Korvink, Jan G. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Berlin, Heidelberg, New York Springer c 2007
Schriftenreihe:Microtechnology and MEMS
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Online Zugang:Inhaltstext
Kapitel 1
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