Fast simulation of electro-thermal MEMS efficient dynamic compact models ; with 9 tables

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Bechtold, Tamara (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Rudnyi, Evgenii B. (VerfasserIn), Korvink, Jan G. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Berlin, Heidelberg, New York Springer c 2007
Schriftenreihe:	Microtechnology and MEMS
Schlagworte:	Microelectromechanical systems > Mathematical models > MEMS > Thermoelektrizität > Computersimulation > Ordnungsreduktion > Mehrfeldproblem > Entkopplung > Simulation
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