Zuverlässigkeitsaspekte von Kupfermetallisierungen in integrierten Schaltungen

Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 2005

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Glasow, Alexander von (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	München Verl. Dr. Hut 2006
Ausgabe:	1. Aufl.
Schriftenreihe:	Elektronik
Schlagworte:	Hochschulschrift > LSI > Kupfer > Metallisieren > Verdrahtung > Zuverlässigkeit > Elektromigration
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