Intelligent integrated microsystems 19 - 21 April 2006, Kissimmee, Florida, USA

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Athale, Ravindra A. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Bellingham, Wash. SPIE 2006
Schriftenreihe:	Proceedings of SPIE 6232
Schlagworte:	Microelectromechanical systems > Konferenzschrift
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Beschreibung:	Getr. Zählung [ca. 200 S.]
ISBN:	0819462888 0-8194-6288-8