Abschlußbericht des Teilprojektes "Entwicklung modular aufgebauter elektrodynamischer Präzisionsdirektantriebe"

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Forschungsverbundprojekt "Entwurf und Modellierung von Antriebssystemen für die Mikrosystemtechnik" - MODAN - www.modan.org
Körperschaft:	Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Veröffentlicht:	Ilmenau 2005
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Titel	Jahr	Verfasser
Abschlußbericht des Teilprojektes "Entwicklung modular aufgebauter elektrodynamischer Präzisionsdirektantriebe"	2005
Abschlußbericht des Teilprojektes "Integration von intelligenten Präzisionsantriebskomponenten in Präzisions-Laserbearbeitungssysteme"	2005
Abschlußbericht des Teilprojektes "Lufttaktventil"	2005
Abschlussbericht des Teilprojektes "Modulare Präzisionsantriebe für MEMS und Laseranlagen" : Laufzeit: 01.04.2002 - 31.03.2005	2005
Abschlußbericht des Teilprojektes "Entwicklung netzwerkfähiger Entwurfsmodule für Mini- und Mikroaktoren"	2005
Abschlußbericht des Teilprojektes "Antriebslösung in 4 Koordinaten für die Flip-Chip-Technologie zur Herstellung von neuartigen mikromechanischen Systemen für Identifikations- und Sensorsysteme"	2005
Abschlussbericht des Teilprojektes "Evaluierung, Weiterentwicklung und Anwendung von Tools zur Modellierung und Simulation von Antriebssystemen für die MST"	2005
Abschlußbericht des Teilprojektes "Entwicklung von neuartigen Mikroantrieben unter Ausnutzung weiterentwickelter Entwurfsmethoden und Tools, Unterstützung der Erarbeitung verbesserter Modelle und Programmmodule"	2005