Abschlußbericht des Teilprojektes "Antriebslösung in 4 Koordinaten für die Flip-Chip-Technologie zur Herstellung von neuartigen mikromechanischen Systemen für Identifikations- und Sensorsysteme"
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Forschungsverbundprojekt "Entwurf und Modellierung von Antriebssystemen für die Mikrosystemtechnik" - MODAN - www.modan.org |
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| Körperschaft: | |
| Format: | UnknownFormat |
| Veröffentlicht: |
Suhl
2005
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| Schlagworte: | |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 16SV1556 |
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