Micro- and nanoelectronics 2005 : 3 - 7 October 2005, Zvenigorod, Russia ; [selected papers ... presented at the International Conference on Micro- and Nanoelectronics 2005 (ICMNE-2005)]

Micro- and nanoelectronics 2005 3 - 7 October 2005, Zvenigorod, Russia ; [selected papers ... presented at the International Conference on Micro- and Nanoelectronics 2005 (ICMNE-2005)]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Fiziko-Technologičeskij Institut (BerichterstatterIn), International Conference on Micro- and Nanoelectronics (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Valiev, Kamil A. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2006
Schriftenreihe:SPIE proceedings series 6260
Schlagworte:
Microelectronics > Nanotechnology > Lithography > Photonics > Materials > Konferenzschrift > Mikrosystemtechnik > Nanotechnologie > Mikroelektronik > Nanoelektronik
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Beschreibung
Beschreibung:Getr. Zählung [ca. 560 S.]
ISBN:0819463256
0-8194-6325-6