Untersuchungen des Gasphasenverhaltens von Vorläufersubstanzen für Silberabscheidungen mit Massenspektrometrie und Abscheidungsexperimenten

Zugl.: Bielefeld, Univ., Diss., 2005

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Haase, Thomas (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Tönning Der Andere Verlag 2006
Schlagworte:	Hochschulschrift > Mikroelektronik > Metallisieren > Silber > CVD-Verfahren > Ausgangsmaterial > Silberkomplexe > Gasphase > Massenspektrometrie
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Zugl.: Bielefeld, Univ., Diss., 2005
Beschreibung:	Zsfassungen in dt. und engl. Sprache
Beschreibung:	118, VIII S. Ill., graph. Darst. 210 mm x 150 mm
ISBN:	3899594886 3-89959-488-6 9783899594881 978-3-89959-488-1