Federn in mikromechanischen Strukturen

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Tendenzen in der Entwicklung, Konstruktion und Anwendung der Feinwerktechnik und Mikrotechnik
1. Verfasser:	Schorcht, Hans-Jürgen (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Meissner, Manfred (VerfasserIn), Wauro, Frank (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1993
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