Herstellung spannungsarmer SI3N4-Membranen für Anwendungen in der Mikrotechnik

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Tendenzen in der Entwicklung, Konstruktion und Anwendung der Feinwerktechnik und Mikrotechnik
Weitere Verfasser:	Vanek, Oldrich (BerichterstatterIn), Schwesinger, Norbert (BerichterstatterIn), Grmanova, A. (BerichterstatterIn), Hotovy, Ivan (BerichterstatterIn), Sändig, Torsten (BerichterstatterIn), Racko, J. (BerichterstatterIn), Badura, L. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1993
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Beschreibung
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