Proceedings of the 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering 19 - 22 September 2005, Vienna, Austria
Gespeichert in:
| Körperschaft: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Amsterdam u.a.
Elsevier
2006
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| Schriftenreihe: | Microelectronic engineering
83.2006,4/9 |
| Schlagworte: | |
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