Proceedings of the 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering 19 - 22 September 2005, Vienna, Austria

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Conference on Micro- and Nano-Engineering (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Loeschner, Hans (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Amsterdam u.a. Elsevier 2006
Schriftenreihe:Microelectronic engineering 83.2006,4/9
Schlagworte:
Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:XXI S., S. 589 - 1830
Ill., graph. Darst.