Optimierungstechniken für TMR Schichtsysteme und Qualifizierung von Oxidationsquellen auf Wafer-Skala, Teilvorhaben Verbundprojekt: Evaluierung von produktionstauglichen Beschichtungs- und Oxidationsverfahren für magnetische Tunnel-Schichtsysteme zur Herstellung von MRAMs ; Kurz: Magnetische Tunnel-Schichtsysteme zur Herstellung von MRAMs ; Teil I+II: Kurze Darstellung/Eingehende Darstellung ; Berichtszeitraum 01.01.2002 bis 31.12.2004
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| Körperschaft: | |
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Kahl am Main u.a.
2005
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