Microprocessing of silicon on insulator substrates and biofunctionalisation of silicon dioxide surfaces for sensing applications in fluids

Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 2005

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Buchholz, Karin (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Garching Walter-Schottky-Inst. 2006
Ausgabe:	1. Aufl.
Schriftenreihe:	Selected topics of semiconductor physics and technology 73
Schlagworte:	Hochschulschrift > SOI-Technik > Siliciumdioxid > Oberfläche > Funktionalisierung > Biosensor
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!