Verbundprojekt: Hochpräzise Elektronenstrahl-Nanolithographie Teilvorhaben: "Thin Layer Imaging (TLI)" ; Abschluss-Bericht ; Laufzeit: 1.6.2000 - 31.5.2004

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Irmscher, Mathias (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Koepernik, Corinna (VerfasserIn), Leibold, Bernd (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Stuttgart Inst. für Mikroelektronik 2004
Schlagworte:	Forschungsbericht
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