Verbundprojekt: Hochpräzise Elektronenstrahl-Nanolithographie : Teilvorhaben: "Thin Layer Imaging (TLI)" ; Abschluss-Bericht ; Laufzeit: 1.6.2000 - 31.5.2004

Verbundprojekt: Hochpräzise Elektronenstrahl-Nanolithographie Teilvorhaben: "Thin Layer Imaging (TLI)" ; Abschluss-Bericht ; Laufzeit: 1.6.2000 - 31.5.2004

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Irmscher, Mathias (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Koepernik, Corinna (VerfasserIn), Leibold, Bernd (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Stuttgart Inst. für Mikroelektronik 2004
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 13N7843. - Verbund-Nr. 01017856. - Literaturverz. Bl. 28
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:28 Bl.
Ill., graph. Darst.