Robust and accurate fitting for optical dimensional metrology

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Technische Universität Ilmenau. Fakultät für Maschinenbau Tagungsunterlagen
Weitere Verfasser:	Kühn, Olaf (BerichterstatterIn), Linß, Gerhard (BerichterstatterIn), Töpfer, Susanne (BerichterstatterIn), Nehse, Uwe (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2005
Schlagworte:
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Beschreibung
Beschreibung:	Publ. entstand im Rahmen der Veranst.: Joint International IMEKO TC1+TC7 Symposium, 2005, Ilmenau
Beschreibung:	8
ISBN:	3932633997