Verbundprojekt: Planare photonische Kristalle in Materialsystemen mit hohem Brechzahlkontrast für die Telekommunikation : Teilvorhaben: Erzeugung periodischer Nanostrukturen mit hohem Aspektverhältnis für photonische Kristalle auf InP-Basis durch Ätzen im induktiv gekoppelten Plasma ; Schlussbericht ; Berichtszeitraum: 01.02.2002 bis 31.01.2005

Verbundprojekt: Planare photonische Kristalle in Materialsystemen mit hohem Brechzahlkontrast für die Telekommunikation Teilvorhaben: Erzeugung periodischer Nanostrukturen mit hohem Aspektverhältnis für photonische Kristalle auf InP-Basis durch Ätzen im induktiv gekoppelten Plasma ; Schlussbericht ; Berichtszeitraum: 01.02.2002 bis 31.01.2005

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Sentech Instruments GmbH (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Wandel, K. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Berlin ca. 2005
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 13N8250. - Verbund-Nr. 01022111
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:26 Bl.
Ill., graph. Darst.