Konstruktionsprinzipien zum Entwurf von Nanopositioniermaschinen

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Technische Universität Ilmenau. Fakultät für Maschinenbau Tagungsunterlagen
Weitere Verfasser:	Lotz, Markus (BerichterstatterIn), Frank, Thomas (BerichterstatterIn), Hackel, Tobias (BerichterstatterIn), Höhne, Günter (BerichterstatterIn), Theska, René (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2005
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