Untersuchung der Dynamik einer hochgenauen x-y-Verfahreinheit für eine Nanopositionier- und Nanomessmaschine anhand eines Konstruktionsentwurfes

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Technische Universität Ilmenau. Fakultät für Maschinenbau Tagungsunterlagen
1. Verfasser:	Tröbs, Anita (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Gerlach, Erik (VerfasserIn), Zimmermann, Klaus (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2005
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