Investigations on actuators for a high-precision long-stroke magnetic levitated stage

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Technische Universität Ilmenau. Fakultät für Maschinenbau Tagungsunterlagen
Weitere Verfasser:	Kireev, Vladimir (BerichterstatterIn), Volkert, Ralf (BerichterstatterIn), Kallenbach, Eberhard (BerichterstatterIn), Gorbatenko, Nikolaj (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2005
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