LTCC Technologie als Grundlage für mikromechanische Funktionselemente

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Technische Universität Ilmenau. Fakultät für Maschinenbau Tagungsunterlagen
Weitere Verfasser: Botiov, Julian (BerichterstatterIn), Albrecht, Arne (BerichterstatterIn), Wurmus, Helmut (BerichterstatterIn), Drüe, Karl-Heinz (BerichterstatterIn), Hintz, Michael (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 2005
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