LTCC Technologie als Grundlage für mikromechanische Funktionselemente

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Technische Universität Ilmenau. Fakultät für Maschinenbau Tagungsunterlagen
Weitere Verfasser:	Botiov, Julian (BerichterstatterIn), Albrecht, Arne (BerichterstatterIn), Wurmus, Helmut (BerichterstatterIn), Drüe, Karl-Heinz (BerichterstatterIn), Hintz, Michael (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2005
Schlagworte:
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